發(fā)布時(shí)間:2025年04月17日 閱讀次數(shù):246 次
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,溫度控制的精度與穩(wěn)定性直接影響芯片性能與良率。從光刻膠的均勻涂布到CMP研磨液的精密拋光,再到封裝材料的可靠固化,工藝過(guò)程中每一度的偏差都可能影響最終產(chǎn)品品質(zhì)。然而,傳統(tǒng)溫控設(shè)備能耗高、精度低、穩(wěn)定性差,已成為制約半導(dǎo)體材料高效生產(chǎn)的“卡脖子”難題。普泰克(上海)制冷設(shè)備技術(shù)有限公司,聚焦半導(dǎo)體行業(yè)需求,以全流程溫控解決方案與創(chuàng)新技術(shù)優(yōu)勢(shì),助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)更高效、更穩(wěn)定的生產(chǎn)目標(biāo)。
行業(yè)挑戰(zhàn)—溫度控制
傳統(tǒng)設(shè)備在低溫(如-15℃)工況下易出現(xiàn)溫度回升現(xiàn)象,可能導(dǎo)致光刻膠形變或研磨液性能波動(dòng),影響工藝一致性。
解決方案——普泰克技術(shù)突破
普泰克以供熱主機(jī)單元、管路系統(tǒng)、二級(jí)介質(zhì)溫控系統(tǒng)、膨脹系統(tǒng)、智能控制系統(tǒng)為核心,構(gòu)建覆蓋半導(dǎo)體全流程的溫度管理網(wǎng)絡(luò),為行業(yè)提供可靠的技術(shù)支持。
采用變頻技術(shù),通過(guò)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和自主控制算法,精準(zhǔn)調(diào)節(jié)壓縮機(jī)輸出頻率,滿足制程需求的同時(shí)實(shí)現(xiàn)最低能耗。
核心產(chǎn)品——半導(dǎo)體溫控Chiller
PTS系列高精度冷熱循環(huán)器
??應(yīng)用場(chǎng)景:光刻膠低溫存儲(chǔ)、CMP研磨液恒溫供應(yīng)
??技術(shù)亮點(diǎn):寬溫域控制能力,支持高精度溫度調(diào)節(jié)
PHE系列高精度換熱溫控單元
??應(yīng)用場(chǎng)景:封裝材料固化、蝕刻液溫度管理
??技術(shù)亮點(diǎn):快速響應(yīng)溫度變化,適配復(fù)雜工藝需求
為什么選擇普泰克?
??深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域:服務(wù)半導(dǎo)體前、中、后道全流程工藝,覆蓋八大核心制程設(shè)備。
??定制化服務(wù)能力:依托模塊化平臺(tái),提供標(biāo)準(zhǔn)化與個(gè)性化結(jié)合的解決方案。
溫度控制是半導(dǎo)體制造中不可或缺的“隱形工藝”。普泰克以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng),通過(guò)精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫控系統(tǒng),助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程,減少資源消耗,邁向高質(zhì)量制造。