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精密冷水機(jī)

TLS精密冷水機(jī)：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機(jī)。型號(hào)按加熱功率命名，加熱功率在1.5~25kW之間。精密冷水機(jī)可以滿足精確控溫的需求，也可以根據(jù)客戶要求選配流量計(jì)和壓力傳感器。本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體制造裝置、分析檢測(cè)裝置等發(fā)熱部分的冷卻及溫度的控制。

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產(chǎn)品推薦

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。主要部件均采用國(guó)際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

chiller高精度換熱溫控單元

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、高端醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機(jī)，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門(mén)子控制器，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國(guó)際知名品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

chiller高精度冷熱循環(huán)器

PTZL系列直冷型制冷機(jī)適用于真空涂覆冷阱、半導(dǎo)體芯片測(cè)試、熱沉試驗(yàn)、低溫液浴，氣體捕集、藥品凍干等多種用途。設(shè)備內(nèi)不含蒸發(fā)器，通過(guò)外部連接管路，將低溫低壓液體制冷劑輸送到客戶負(fù)載（蒸發(fā)器）內(nèi)。制冷劑在蒸發(fā)器內(nèi)蒸發(fā)吸熱，快速帶走負(fù)載熱量后到達(dá)目標(biāo)低溫。直冷型制冷機(jī)采用制冷劑直接蒸發(fā)，降溫方式為相變制冷，與液冷的溫差降溫相比，降溫速度快，能效高，設(shè)備無(wú)循環(huán)系統(tǒng)后，外形尺寸更緊湊。